Merila, ki se uporabljajo za določitev področne prednostne liste so:
1.
vključenost opreme v tekoče projekte, programe ter infrastrukturo;
2.
reference (znanstveno-raziskovalni in raziskovalno-razvojni kazalci) prijavitelja ter raziskovalne skupine;
3.
sodelovanje v mednarodnih projektih ali programih oziroma v drugih oblikah mednarodnega sodelovanja;
4.
pomen nakupa potrebne raziskovalne opreme z vidika razvojnih ciljev prijavitelja;
5.
pomen opreme za infrastrukturo ožjega raziskovalnega področja ali več področij;
6.
pomen raziskovalne opreme za uvajanje sodobnih tehnologij v Republiko Slovenijo;
7.
primernost in ustreznost potrebne raziskovalne opreme z vidika varstva okolja, zdravja, življenja in premoženja;
8.
primernost in ustreznost izbora potrebne raziskovalne opreme s tehničnega, ekomonskega in eksploatacijskega vidika;
9.
združljivost ter vključljivost raziskovalne opreme v obstoječo raziskovalno infrastrukturo;
10.
predvidena zasedenost raziskovalne opreme, njena razpoložljivost in izkoriščenost;
11.
delež lastne udeležbe za nakup raziskovalne opreme;
12.
pomen raziskovalne opreme za politiko razvoja znanstvenih področij, ved oziroma polj v Republiki Sloveniji.
Vrstni red meril ne pomeni njihove prioritete.
Minister lahko na predlog področnega sveta s sklepom podrobneje določi metodologijo za uporabo meril, ki se uporabljajo za določitev področne prednostne liste.